半導体立国

日本半導体製造装置協会 編

本書は、単に特定の業界の内幕話ではなく、半導体という先端技術産業の今後の進展を占う、生きた素材を提供している。

「BOOKデータベース」より

[目次]

  • 第1章 「超LSI」ブレークスルーの鍵 露光装置
  • 第2章 多様化と標準化の両立を求めて-エッチング・レジスト処理・洗浄装置
  • 第3章 枚葉化と標準化の大きなうねり-拡散・熱処理装置
  • 第4章 ユーザーとの相互協力で時代にミート-イオン注入装置
  • 第5章 日本にもほしいロードマップ-スパッタリング装置・CVD装置
  • 第6章 安定生産ニーズにいかに応えるか-組立装置
  • 第7章 プローバ、ハンドラ、テスタメーカー三者一体となった開発が必要-検査装置

「BOOKデータベース」より

この本の情報

書名 半導体立国
著作者等 日本半導体製造装置協会
金山 敏彦
書名ヨミ ハンドウタイ リッコク
書名別名 製造装置の明日を語る
出版元 日刊工業新聞社
刊行年月 1996.11
ページ数 258p
大きさ 19cm
ISBN 4526039373
NCID BN15450516
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全国書誌番号
97042165
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言語 日本語
出版国 日本
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