ナノテクノロジー・表面分析の科学 : 原子・分子スケールで表面を見る

小宮宗治 ほか著

今日の半導体産業の超LSI素子では、1ミリメートルの1万分の1単位の大きさのチリが、20センチメートル程度のシリコン基盤の上に1個も見つからないという、気の遠くなるような清浄さが目標とされています。そのためにも、原子の数を1つ1つ数えるのに等しいレベルで固体表面を観察し、分析する技術が要求されます。ことは半導体産業に限りません。ナノテクノロジーの申し子のようなこれらの表面分析法について、その基本原理から用途まで、わかりやすく紹介しましょう。

「BOOKデータベース」より

[目次]

  • 第1章 序にかえて-ナノテクノロジーの世界へ
  • 第2章 微小領域の表面世界をさぐるオージェ電子分光法
  • 第3章 商品開発の名アシスタント・ESCA
  • 第4章 極微量の不純物を分析するSIMS
  • 第5章 表面分析装置のもっとも効果的な使い方
  • 第6章 最新ナノテクノロジー表面分析器

「BOOKデータベース」より

この本の情報

書名 ナノテクノロジー・表面分析の科学 : 原子・分子スケールで表面を見る
著作者等 大岩 烈
小宮 宗治
田中 彰博
書名ヨミ ナノテクノロジー ヒョウメン ブンセキ ノ カガク
書名別名 Nanotekunoroji hyomen bunseki no kagaku
シリーズ名 ブルーバックス
出版元 講談社
刊行年月 1992.12
ページ数 320p
大きさ 18cm
ISBN 4061329480
NCID BN08437336
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全国書誌番号
93017407
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言語 日本語
出版国 日本
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