実験物理学講座  8

近角聡信 ほか企画編集

[目次]

  • 1 薄膜製作技術(真空蒸着法
  • プラズマやイオンを用いた成膜法
  • スパッタ法
  • 化学的方法)
  • 2 薄膜(導電体薄膜
  • 誘電体薄膜
  • 半導体薄膜
  • 磁性薄膜
  • 超伝導薄膜
  • 人工格子膜
  • 薄膜製作技術補遺)

「BOOKデータベース」より

[目次]

  • 目次
  • I. 薄膜製作技術
  • 1. 真空蒸着法 末澤慶孝・権藤靖夫
  • 1・1 はしがき / p1
  • 1・2 真空蒸着過程 / p3
  • 1・3 蒸着法 / p10
  • 1・4 合金の蒸着 / p45
  • 2. プラズマやイオンを用いた成膜法 松原覚衛
  • 2・1 プラズマの性質と診断 / p54
  • 2・2 低温プラズマCVD / p63
  • 2・3 イオンプレーティング法 / p68
  • 2・4 イオンビーム蒸着法 / p75
  • 2・5 薄膜成長におけるイオンの基本的効果 / p87
  • 3. スパッタ法 中井順吉
  • 3・1 スパッタ現象 / p101
  • 3・2 スパッタ機構 / p113
  • 3・3 スパッタ方法 / p127
  • 4. 化学的方法(1)固相中の拡散 有住徹弥
  • 4・1 はしがき / p157
  • 4・2 濃度拡散 / p158
  • 4・3 拡散方法 / p162
  • 4・4 装置 / p166
  • 4・5 拡散の実験 / p171
  • 4・6 拡散係数の決定 / p180
  • 4・7 酸化膜の成長 / p185
  • 5. 化学的方法(2)気相および液相成長 有住徹弥
  • 5・1 はしがき / p189
  • 5・2 気相成長装置 / p190
  • 5・3 水素還元法 / p193
  • 5・4 熱分解法 / p197
  • 5・5 可逆不均等化反応 / p198
  • 5・6 酸化膜および窒化膜の気相成長 / p202
  • 5・7 半導体の液相成長 / p204
  • 5・8 スライド法 / p206
  • 5・9 成長膜の評価 / p210
  • 5・10 X線法 / p214
  • 5・11 格子定数の精密測定 / p216
  • II. 薄膜
  • 6. 導電体薄膜 中井順吉
  • 6・1 膜厚効果 / p221
  • 6・2 熱処理効果 / p224
  • 6・3 電気抵抗の温度係数 / p227
  • 6・4 島状構造をした薄膜の電気抵抗 / p228
  • 6・5 電気抵抗の経時変化 / p231
  • 6・6 電気抵抗膜 / p231
  • 7. 誘電体薄膜 中井順吉
  • 7・1 薄膜の誘電率 / p239
  • 7・2 誘電体膜 / p242
  • 7・3 薄い絶縁体膜を通しての電気伝導 / p244
  • 8. 半導体薄膜 中井順吉
  • 8・1 元素半導体真空蒸着膜 / p251
  • 8・2 化合物半導体真空蒸着膜 / p256
  • 8・3 斜め真空蒸着膜 / p258
  • 9. 磁性薄膜 角野圭一
  • 9・1 薄膜の磁性 / p265
  • 9・2 磁性薄膜の製作法 / p293
  • 9・3 磁性薄膜の測定法 / p301
  • 10. 超伝導薄膜 菅原昌敬
  • 10・1 超伝導体の一般的性質 / p323
  • 10・2 高温酸化物超伝導体 / p339
  • 10・3 超伝導体薄膜の性質と製法 / p345
  • 10・4 測定法 / p360
  • 11. 人工格子膜 新庄輝也
  • 11・1 はしがき / p369
  • 11・2 生成法 / p372
  • 11・3 構造解析 / p374
  • 11・4 人工格子の実例とその性質 / p379
  • 11・5 おわりに / p385
  • 12. 薄膜製作技術補遺 権藤靖夫
  • 12・1 電気めっき法 / p389
  • 12・2 化学めっき法 / p394
  • 12・3 マグネトロンスパッタ法 / p397
  • 12・4 反応性スパッタ法 / p398
  • 12・5 イオンビームスパッタ法 / p398
  • 12・6 有機金属CVD法 / p399
  • 12・7 光CVD法 / p400
  • 12・8 反応性蒸着法 / p400
  • 12・9 分子線エピタクシ法 / p400
  • 図表引用一覧 / p405
  • 索引 / p413

「国立国会図書館デジタルコレクション」より

この本の情報

書名 実験物理学講座
著作者等 末澤 慶孝
権藤 靖夫
近角 聡信
近角聡信 企集
書名ヨミ ジッケン ブツリガク コウザ
書名別名 薄膜
巻冊次 8
出版元 共立
刊行年月 1992.9
ページ数 418p
大きさ 22cm
ISBN 432003063X
NCID BN07958297
※クリックでCiNii Booksを表示
全国書誌番号
92064976
※クリックで国立国会図書館サーチを表示
言語 日本語
出版国 日本

掲載作品

著作名 著作者名
薄膜 権藤 靖夫
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