イオン工学技術の基礎と応用

平尾孝 ほか共著

[目次]

  • 第1章 イオン工学技術の現状と展望
  • 第2章 イオン工学技術関連の基礎事項
  • 第3章 イオン注入技術
  • 第4章 イオンビームミキシング技術
  • 第5章 薄膜形成技術
  • 第6章 微細加工技術
  • 第7章 集束イオンビーム技術
  • 第8章 分析技術

「BOOKデータベース」より

この本の情報

書名 イオン工学技術の基礎と応用
著作者等 平尾 孝
三小田 真彬
早川 茂
新田 恒治
書名ヨミ イオン コウガク ギジュツ ノ キソ ト オウヨウ
出版元 工業調査会
刊行年月 1992.4
ページ数 274p
大きさ 21cm
ISBN 4769310943
NCID BN07785417
※クリックでCiNii Booksを表示
全国書誌番号
92056325
※クリックで国立国会図書館サーチを表示
言語 日本語
出版国 日本
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