「半導体立国」日本

日本半導体製造装置協会 編

半導体・日本がいかにして成立したか、そのルーツと発展の経緯、苦闘の歩みを明らかにする。

「BOOKデータベース」より

[目次]

  • 第1章 半導体産業、夜明けの時代
  • 第2章 IC、LSIの時代
  • 第3章 超LSIの時代
  • 第4章 光学王国・日本の真価 露光装置
  • 第5章 自動化の推進役 エッチング・レジスト処理・洗浄装置
  • 第6章 前工程の代表装置 酸化・ドーピング装置
  • 第7章 超LSI化で重要度増す 膜形成装置
  • 第8章 半導体日本の立役者 組立用装置
  • 第9章 一気に世界のトップへ 検査用装置
  • 第10章 1ギガビット以降を展望する

「BOOKデータベース」より

この本の情報

書名 「半導体立国」日本
著作者等 日本半導体製造装置協会
書名ヨミ ハンドウタイ リッコク ニホン
書名別名 独創的な装置が築きあげた記録

Handotai rikkoku nihon
出版元 日刊工業新聞社
刊行年月 1991.11
ページ数 403p
大きさ 20cm
ISBN 4526030422
NCID BN07021660
※クリックでCiNii Booksを表示
全国書誌番号
92013458
※クリックで国立国会図書館サーチを表示
言語 日本語
出版国 日本
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