イオンビームによる薄膜設計

山田公 著

[目次]

  • 第1章 薄膜の形成
  • 第2章 イオンビームの作用
  • 第3章 種々のイオンの照射効果を用いた薄膜形成法
  • 第4章 プラズマ中での薄膜形成法
  • 第5章 真空中での薄膜形成法

「BOOKデータベース」より

この本の情報

書名 イオンビームによる薄膜設計
著作者等 山田 公
書名ヨミ イオン ビーム ニ ヨル ハクマク セッケイ
シリーズ名 表面・薄膜分子設計シリーズ 15
出版元 共立
刊行年月 1991.9
ページ数 114p
大きさ 19cm
ISBN 4320085159
NCID BN06866284
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全国書誌番号
91068530
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言語 日本語
出版国 日本
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