薄膜の基礎技術

三宅清司 著

[目次]

  • 目次
  • 第1章 序説 / p1
  • 1.1 金属薄膜 / p1
  • 1.2 金属薄膜の性質 / p2
  • 1.3 金属薄膜の応用 / p3
  • 第2章 金属薄膜の成長 / p5
  • 2.1 金属薄膜のエピタキシアル成長 / p5
  • 2.2 結晶下地上の核の生成 / p8
  • 2.3 結晶下地上の膜の成長 / p11
  • 2.4 非結晶下地上の膜の成長 / p14
  • 2.5 金属薄膜の生成理論 / p18
  • 第3章 金属薄膜の電気抵抗 / p22
  • 3.1 金属薄膜の電気抵抗 / p22
  • 3.2 電気抵抗の温度係数 / p30
  • 3.3 薄膜のエージングと電気抵抗 / p34
  • 3.4 金属薄膜の電気伝導の理論 / p39
  • 第4章 真空および真空系 / p48
  • 4.1 実在気体と理想気体 / p48
  • 4.2 理想気体の運動論的取扱い / p51
  • 4.3 気体の粘性,拡散,および,表面衝突速度と堆積速度 / p56
  • 4.4 真空系 / p63
  • 4.5 真空系の排気速度 / p69
  • 第5章 真空ポンプおよび真空計 / p80
  • 5.1 真空ポンプとその種類 / p80
  • 5.2 油回転真空ポンプと油拡散真空ポンプ / p82
  • 5.3 ゲッターイオン真空ポンプ / p90
  • 5.4 真空の測定および低真空用真空計 / p96
  • 5.5 高真空用真空計 / p99
  • 第6章 真空蒸発と真空蒸着装置 / p105
  • 6.1 真空蒸発 / p105
  • 6.2 蒸着装置の基本構成と種類 / p112
  • 6.3 蒸着装置のガス出し装置と計測器 / p118
  • 6.4 電子線蒸着装置 / p127
  • 6.5 多層薄膜蒸着装置 / p133
  • 6.6 真空蒸着装置の性能 / p137
  • 第7章 カソードスパッタリング / p142
  • 7.1 衝撃蒸発 / p142
  • 7.2 グロー放電 / p144
  • 7.3 イオン衝撃とスパッター粒子 / p146
  • 7.4 カソードスパッタリングの性質 / p149
  • 7.5 カソードスパッタリングの理論 / p157
  • 7.6 カソードスパッタリング装置 / p160
  • 7.7 交流およびバイアススパッタリング / p168
  • 7.8 ゲッタースパッタリング / p171
  • 第8章 薄膜の製作条件と性質:金属,下地の化学処理と膜厚の測定 / p175
  • 8.1 半導体装置の薄膜用金属と基板材料 / p175
  • 8.2 金属および下地表面の化学処理 / p178
  • 8.3 膜厚の分布 / p183
  • 8.4 膜厚および堆積速度の測定と監視 / p189
  • 第9章 真空蒸着膜の製作条件と性質 / p199
  • 9.1 真空蒸着膜の製作 / p199
  • 9.2 蒸着膜の性質と真空度 / p206
  • 9.3 下地の条件と蒸着膜の性質 / p210
  • 9.4 金属,合金の真空蒸発法と蒸着速度 / p217
  • 9.5 蒸着膜のエージング / p224
  • 第10章 スパッタリング膜の製作条件と性質 / p230
  • 10.1 スパッタリング膜の製作 / p230
  • 10.2 残留ガスとゲッタースパッタリング / p233
  • 10.3 バイアススパッタリングと吸蔵ガス / p235
  • 10.4 下地の温度,スパッタリング条件と膜の性質 / p238
  • 10.5 スパッタリング膜の堆積速度と膜の性質 / p242
  • 10.6 スパッタリング膜のエージング / p246
  • 第11章 金属薄膜の半導体装置への応用 / p250
  • 11.1 半導体装置と金属膜 / p250
  • 11.2 金属膜の基板とその性質 / p252
  • 11.3 電子部品用金属膜 / p258
  • 11.4 電極 / p264
  • 11.5 引出し導線 / p269
  • 11.6 接点および接続導線 / p273
  • 11.7 電気抵抗 / p277
  • 11.8 電気容量 / p284
  • 索引 / p291

「国立国会図書館デジタルコレクション」より

この本の情報

書名 薄膜の基礎技術
著作者等 三宅 清司
書名ヨミ ハクマク ノ キソ ギジュツ
出版元 朝倉書店
刊行年月 1968
ページ数 299p
大きさ 22cm
NCID BN02969933
※クリックでCiNii Booksを表示
全国書誌番号
68008431
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言語 日本語
出版国 日本
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