100例にみる半導体評価技術

宇佐美晶 著

LSIや光デバイスなどを中心とする半導体デバイスがシステムの基幹デバイスとして重宝がられてから久しい。このデバイスを陰で支えているのが評価技術である。半導体評価技術はデバイスを形成するための材料の評価技術、デバイスを製造するプロセスの評価技術、さらに製造されたLSIなどのデバイスの評価に大別できる。本書ではこれらの中から基幹となるような100項目を取り上げ、できるだけ数式を用いずに平易に解説している。

「BOOKデータベース」より

[目次]

  • 第1編 材料評価技術(オフライン評価技術
  • オンライン材料評価)
  • 第2編 デバイス工程評価技術(オンライン工程評価技術
  • in‐situ評価技術)
  • 第3編 デバイス評価技術(個別デバイスの評価
  • LSIの評価技術)

「BOOKデータベース」より

この本の情報

書名 100例にみる半導体評価技術
著作者等 宇佐美 晶
書名ヨミ ヒャクレイ ニ ミル ハンドウタイ ヒョウカ ギジュツ
シリーズ名 K books 63
出版元 工業調査会
刊行年月 1988.5
ページ数 191p
大きさ 19cm
ISBN 4769360649
NCID BN02391946
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全国書誌番号
88048002
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言語 日本語
出版国 日本
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