半導体エピタキシー技術

河東田隆 著

この本の情報

書名 半導体エピタキシー技術
著作者等 河東田 隆
書名ヨミ ハンドウタイ エピタキシー ギジュツ
書名別名 Handotai epitakishi gijutsu
シリーズ名 集積回路プロセス技術シリーズ
出版元 産業図書
刊行年月 1982.10
ページ数 193p
大きさ 22cm
ISBN 4782856229
NCID BN00813820
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全国書誌番号
83007167
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言語 日本語
出版国 日本
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