よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み

佐藤淳一 著

製造装置の全体を俯瞰する。あなたの知らない日本の実力がわかる。世界に冠たる日本の半導体製造装置メーカー、その技術力の神髄が手に取るようにわかる!

「BOOKデータベース」より

[目次]

  • 半導体製造装置を取り巻く現状
  • 半導体製造装置をファブから理解する
  • 洗浄・乾燥装置
  • イオン注入装置
  • 熱処理装置
  • リングラフィー装置
  • エッチング装置
  • 成膜装置
  • 平坦化(CMP)装置
  • 検査・測定・解析装置
  • 後工程装置

「BOOKデータベース」より

この本の情報

書名 よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み
著作者等 佐藤 淳一
書名ヨミ ヨク ワカル サイシン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ノ キホン ト シクミ : セイゾウ ソウチ ノ ゼンタイ オ フカン スル : アナタ ノ シラナイ ニホン ノ ジツリョク ガ ワカル
書名別名 製造装置の全体を俯瞰する : あなたの知らない日本の実力がわかる

Yoku wakaru saishin handotai seizo sochi no kihon to shikumi
シリーズ名 Visual Guide Book
図解入門 : How-nual
出版元 秀和システム
刊行年月 2016.8
版表示 第2版
ページ数 259p
大きさ 21cm
ISBN 978-4-7980-4726-3
NCID BB22061881
※クリックでCiNii Booksを表示
全国書誌番号
22784924
※クリックで国立国会図書館サーチを表示
言語 日本語
出版国 日本
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