薄膜工学

金原粲 監修 ; 吉田貞史, 近藤高志 編著 ; 日本学術振興会薄膜第131委員会 編集企画

薄膜技術は、非常に基礎的な技術でありながら関係する応用分野が広く、最先端エレクトロニクスに不可欠な基盤技術でもある。本書は、その基本事項を解説するとともに、最近の著しい技術発展を踏まえて改訂を行い、微細加工技術を用いた2次元、3次元微細構造の導入や基板の大型化・高速化を可能にした装置技術、新しい薄膜作製手法、原子・分子スケールでの測定技術なども取り上げて解説する。本書は、薄膜分野の研究や技術開発に携わる人々の入門書として、また、薄膜の基礎技術の解説書として、格好の書である。

「BOOKデータベース」より

[目次]

  • 1 薄膜工学の基礎(薄膜の基礎
  • 薄膜のプロセスと応用)
  • 2 薄膜の作製法(真空蒸着
  • スパッタリング
  • 化学気相成長法)
  • 3 薄膜の評価(形状・構造評価
  • 組成評価・分析
  • 力学的・機械的性質の評価)
  • 4 薄膜の機能と応用(半導体薄膜
  • 光学薄膜と透明導電膜
  • 誘電体薄膜
  • 磁性薄膜
  • 薄膜の化学的性質と機能
  • 有機薄膜)

「BOOKデータベース」より

この本の情報

書名 薄膜工学
著作者等 吉田 貞史
日本学術振興会
近藤 高志
金原 粲
日本学術振興会薄膜第131委員会
書名ヨミ ハクマク コウガク
書名別名 Hakumaku kogaku
出版元 丸善
刊行年月 2011.6
版表示 第2版.
ページ数 295p
大きさ 21cm
ISBN 978-4-621-08414-4
NCID BB06218279
※クリックでCiNii Booksを表示
全国書誌番号
21954596
※クリックで国立国会図書館サーチを表示
言語 日本語
出版国 日本
この本を: 
このエントリーをはてなブックマークに追加

このページを印刷

外部サイトで検索

この本と繋がる本を検索

ウィキペディアから連想