はじめてのMEMS

江刺正喜 著

[目次]

• 第1章 マイクロマシーニングとMEMS(マイクロマシーニングとMEMS
• MEMSの歴史)
• 第2章 MEMSの製作(パターニング
• エッチング
• 堆積と応力制御
• 接合
• 複合プロセス
• 集積化
• パッケージングと組立
• 設計・評価)
• 第3章 MEMSの要素(センサ
• アクチュエータ
• エネルギー源)
• 第4章 MEMSの応用(自動車・家電応用
• 情報・通信応用
• 製造・検査応用
• 医療・バイオ応用
• MEMSビジネス)

「BOOKデータベース」より