はじめてのMEMS

江刺正喜 著

MEMS(微小機械電気システム)の応用分野が拡大している。従来の自動車のエアバッグ、情報通信機器への応用から、最近はゲーム機、製造装置、科学機器、医療福祉機器分野での採用も始まっている。本書では、入門者がMEMSの基礎から製作、要素、応用までを学べるよう解説した。

「BOOKデータベース」より

[目次]

  • 第1章 マイクロマシーニングとMEMS(マイクロマシーニングとMEMS
  • MEMSの歴史)
  • 第2章 MEMSの製作(パターニング
  • エッチング
  • 堆積と応力制御
  • 接合
  • 複合プロセス
  • 集積化
  • パッケージングと組立
  • 設計・評価)
  • 第3章 MEMSの要素(センサ
  • アクチュエータ
  • エネルギー源)
  • 第4章 MEMSの応用(自動車・家電応用
  • 情報・通信応用
  • 製造・検査応用
  • 医療・バイオ応用
  • MEMSビジネス)

「BOOKデータベース」より

この本の情報

書名 はじめてのMEMS
著作者等 江刺 正喜
書名ヨミ ハジメテ ノ MEMS
シリーズ名 ビギナーズブックス 48
出版元 工業調査会
刊行年月 2009.9
ページ数 230p
大きさ 21cm
ISBN 978-4-7693-1287-1
NCID BA91453125
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全国書誌番号
21742728
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言語 日本語
出版国 日本
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