マイクロプラズマ : 基礎と応用

橘邦英, 石井彰三, 寺嶋和夫, 白藤立 編著

[目次]

  • 第1章 序論(マイクロプラズマの定義とその特徴
  • マイクロプラズマの生成 ほか)
  • 第2章 微小空間高密度媒質中での放電プラズマ現象(高密度媒質による特徴
  • 微小性による特徴 ほか)
  • 第3章 マイクロプラズマの生成(気体を用いたマイクロ放電によるプラズマ生成技術
  • 液体や固体が関わるマイクロ放電によるプラズマ生成技術 ほか)
  • 第4章 マイクロプラズマの診断とシミュレーション(プラズマメータの計測
  • 気相・表面近傍での反応活性種の計測 ほか)
  • 第5章 マイクロプラズマの応用(材料プロセス応用
  • 微量化学分析・センサへの応用 ほか)

「BOOKデータベース」より

この本の情報

書名 マイクロプラズマ : 基礎と応用
著作者等 寺嶋 和夫
橘 邦英
白藤 立
石井 彰三
書名ヨミ マイクロ プラズマ : キソ ト オウヨウ
出版元 オーム社
刊行年月 2009.3
ページ数 260p
大きさ 22cm
ISBN 978-4-274-20703-7
NCID BA89793390
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全国書誌番号
21582713
※クリックで国立国会図書館サーチを表示
言語 日本語
出版国 日本
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