マイクロマシン技術

北原時雄, 石川雄一 監修

[目次]

  • 基礎編(マイクロファブリケーション
  • マイクロ駆動機構(アクチュエータと機構)
  • マイクロエネルギーデバイス
  • マイクロメカニカルセンサ)
  • 応用編(マイクロ加工表面修飾による新機能発現
  • マイクロデバイス
  • トータルマイクロシステム)

「BOOKデータベース」より

この本の情報

書名 マイクロマシン技術
著作者等 北原 時雄
石川 雄一
書名ヨミ マイクロマシン ギジュツ
書名別名 マイクロマシン技術と応用

Maikuromashin gijutsu
シリーズ名 CMCテクニカルライブラリー 250
出版元 シーエムシー
刊行年月 2007.2
版表示 普及版
ページ数 328p
大きさ 21cm
ISBN 978-4-88231-912-2
NCID BA81009967
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全国書誌番号
21265465
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言語 日本語
出版国 日本
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