はじめての半導体ナノプロセス

前田和夫 著

ナノテクノロジー時代到来が叫ばれている今日、半導体プロセスの微細化は際限なく続いている。将来的には50nm以下がターゲットになっており、半導体プロセスも「ナノプロセス時代」に入る。本書はナノテクノロジー時代の半導体プロセス技術について、これまでの技術の流れからどのような変革が行われようとしているかを具体的に解説している。この他にも半導体デバイス、実装技術、製造技術、関連材料、測定・評価技術などの重要テーマの動向についてもふれている。半導体ナノプロセスを取り巻く全体像がつかめて興味深い。

「BOOKデータベース」より

[目次]

  • 第1章 ナノテクノロジー時代の到来
  • 第2章 半導体技術におけるナノテクノロジー
  • 第3章 ナノテクノロジー時代の半導体デバイス
  • 第4章 半導体ナノプロセスの概要
  • 第5章 基本ナノプロセス
  • 第6章 複合ナノプロセス
  • 第7章 半導体ナノプロセスのこれから

「BOOKデータベース」より

この本の情報

書名 はじめての半導体ナノプロセス
著作者等 前田 和夫
書名ヨミ ハジメテ ノ ハンドウタイ ナノプロセス
シリーズ名 ビギナーズブックス 32
出版元 工業調査会
刊行年月 2004.2
ページ数 239p
大きさ 21cm
ISBN 4769312253
NCID BA6581000X
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全国書誌番号
20568503
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言語 日本語
出版国 日本
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