マイクロ・ナノマシン技術入門 : 半導体技術で作る微小機械とその応用

藤田博之 著

半導体の微細加工技術を利用して、数μmという超小型の機械部品やモーターなどを、シリコン基板上に製作することが可能になった。本書は、ミクロンレベルからナノ領域にいたる微小機械についてのさまざまな技術展開と可能性を示す。

「BOOKデータベース」より

[目次]

  • 第1章 マイクロ・ナノ機械の発展の歴史
  • 第2章 マイクロ・ナノ機械の特徴と利点
  • 第3章 マイクロ・ナノ機械の応用分野
  • 第4章 光技術への応用
  • 第5章 バイオ・化学分野への応用
  • 第6章 マイクロ・ナノマシーニング(製作技術)
  • 第7章 マイクロアクチュエータ

「BOOKデータベース」より

この本の情報

書名 マイクロ・ナノマシン技術入門 : 半導体技術で作る微小機械とその応用
著作者等 藤田 博之
書名ヨミ マイクロ ナノマシン ギジュツ ニュウモン : ハンドウタイ ギジュツ デ ツクル ビショウ キカイ ト ソノ オウヨウ
書名別名 Maikuro nanomashin gijutsu nyumon
出版元 工業調査会
刊行年月 2003.8
ページ数 232p
大きさ 21cm
ISBN 4769371179
NCID BA6332701X
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全国書誌番号
20566378
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言語 日本語
出版国 日本
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