光マイクロマシン

澤田廉士, 羽根一博, 日暮栄治 共著

[目次]

• 第1部 光マイクロマシン(光スイッチ、ミラーアレイ、減衰器
• ディスプレイ、スキャナ
• スペクトロメータ、波長可変光学素子 ほか)
• 第2部 光マイクロマシン光学(光の反射・屈折
• 干渉
• 回折 ほか)
• 第3部 材料、ファブリケーション、パッケージング(光学素子
• ファブリケーション
• 表面理工学 ほか)

「BOOKデータベース」より