荷電粒子ビーム工学

石川順三 著

本書では、電子だけでなくイオンも含めた荷電粒子の発生、ビーム輸送・操作に加えて、それらを用いた材料プロセスも重要なテーマであると位置づけ、荷電粒子ビームと固体との相互作用の入門的な記述も加え、また、電子およびイオンビーム技術に関し、その基本となる基礎現象の理解ができるだけ得られるように、現象の物理的意味をわかりやすく解説している。

「BOOKデータベース」より

[目次]

  • 1 荷電粒子ビームの特質と利用形態
  • 2 電子とイオン
  • 3 電子の発生とビーム形成
  • 4 イオンの発生とビーム形成
  • 5 ビーム輸送と操作
  • 6 ビームと固体原子の相互作用
  • 7 高周波エネルギー変換デバイス
  • 8 荷電粒子ビーム装置

「BOOKデータベース」より

この本の情報

書名 荷電粒子ビーム工学
著作者等 石川 順三
書名ヨミ カデン リュウシ ビーム コウガク
出版元 コロナ社
刊行年月 2001.5
ページ数 302p
大きさ 21cm
ISBN 433900734X
NCID BA51929729
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全国書誌番号
20175567
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言語 日本語
出版国 日本
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