はじめての半導体製造装置

前田和夫 著

本書は、半導体製造装置の入門書であるが、単に半導体製造装置の種類や技術を紹介するにとどまらず、半導体市場や技術との絡み、装置としての特殊性といった解説を交えて、読者がより広く半導体製造装置を捉えられるように執筆されている。

「BOOKデータベース」より

[目次]

  • 第0章 半導体製造装置という世界
  • 第1章 半導体デバイスの製造工程
  • 第2章 半導体製造装置の技術史
  • 第3章 半導体製造装置の種類と役割
  • 第4章 半導体製造装置の構成と方式
  • 第5章 各種半導体製造装置の概要
  • 第6章 半導体製造装置の現場
  • 第7章 半導体製造装置の技術要素
  • 第8章 半導体製造装置技術のロードマップ
  • 第9章 21世紀の半導体製造装置-半導体製造装置進化論

「BOOKデータベース」より

この本の情報

書名 はじめての半導体製造装置
著作者等 前田 和夫
書名ヨミ ハジメテ ノ ハンドウタイ セイゾウ ソウチ
書名別名 Hajimete no handotai seizo sochi
シリーズ名 ビギナーズブックス 3
出版元 工業調査会
刊行年月 1999.3
ページ数 254p
大きさ 21cm
ISBN 4769311699
NCID BA40473169
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全国書誌番号
99109344
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言語 日本語
出版国 日本
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