薄膜技術の新潮流 : 多彩な新規応用をカバー

平尾孝, 吉田哲久, 早川茂 共著

[目次]

• 第1章 はじめに
• 第2章 薄膜技術の基礎(薄膜技術における真空、気体の性質
• 原子・分子の励起・電離と衝突過程 ほか)
• 第3章 薄膜形成技術(薄膜形成の基礎
• 各種薄膜形成技術-I(PVD) ほか)
• 第4章 加工技術(はじめに
• ドライエッチング技術の基礎 ほか)
• 第5章 薄膜技術の応用(センサ
• 半導体デバイス ほか)

「BOOKデータベース」より