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負イオンビームによる蒸着膜・結晶性制御技術の開発
石川順三 研究代表者
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書名 |
負イオンビームによる蒸着膜・結晶性制御技術の開発 |
著作者等 |
京都大学工学部
石川 順三
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書名ヨミ |
フ イオン ビーム ニ ヨル ジョウチャクマク ケッショウセイ セイギョ ギジュツ ノ カイハツ |
書名別名 |
昭和61・62年度科学研究費補助金一般研究(B)研究成果報告書 : (課題番号 61460065) |
出版元 |
[石川順三] |
刊行年月 |
1988.3 |
ページ数 |
70p |
大きさ |
26cm |
NCID |
BA64427585
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言語 |
日本語 英語 |
出版国 |
日本 |
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