負イオンビームによる蒸着膜・結晶性制御技術の開発

石川順三 研究代表者

この本の情報

書名 負イオンビームによる蒸着膜・結晶性制御技術の開発
著作者等 京都大学工学部
石川 順三
書名ヨミ フ イオン ビーム ニ ヨル ジョウチャクマク ケッショウセイ セイギョ ギジュツ ノ カイハツ
書名別名 昭和61・62年度科学研究費補助金一般研究(B)研究成果報告書 : (課題番号 61460065)
出版元 [石川順三]
刊行年月 1988.3
ページ数 70p
大きさ 26cm
NCID BA64427585
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言語 日本語
英語
出版国 日本
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