自己組織化プロセス技術

村田好正, 尾関雅志, 野崎眞次 共編

材料構成原子が自然に原子間の相互作用により特定の極微構造を形成する、いわゆる「自己組織化」現象の利用が注目されている。この現象は量子細線や量子ドットなどのナノ構造の形成に応用され、次世代のプロセス技術のひとつとして研究開発が著しい。本書は、このような自己組織化プロセス技術について、わが国の本分野の第一線の研究者らが解説した初の成書である。自己組織化現象のメカニズムと極微構造制御技術、STMなどによる構造評価技術、計算物理による理論とシミュレーションなどの基本事項から、SiやGe、化合物半導体らのナノ構造作製技術への応用まで、網羅的に解説している。

「BOOKデータベース」より

[目次]

  • 第1編 基礎編(量子ドットの電子状態とデバイスへの展開の基礎
  • Si、GaN量子ドットの自己形成と光学的特性
  • 水素化Si(100)でのSiアドアトムの吸着と拡散 ほか)
  • 第2編 Si、Geの自己組織化技術(吸着Si表面における自己組織化とナノ構造形成
  • Si表面の自己組織化とその集積化
  • Si(001)に出現する縞状の原子ステップ構造 ほか)
  • 第3編 化合物半導体の自己組織化技術(自己集合ならびに自己組織化による半導体ナノ構造形成
  • GaAs薄膜成長過程での自己組織化
  • GaAs(111)A、(110)基板上のInAs成長 ほか)

「BOOKデータベース」より

この本の情報

書名 自己組織化プロセス技術
著作者等 尾関 雅志
村田 好正
野崎 眞次
野崎 真次
書名ヨミ ジコ ソシキカ プロセス ギジュツ
書名別名 Jiko soshikika purosesu gijutsu
シリーズ名 エレクトロニクス材料・物性・デバイス 20
アドバンストエレクトロニクスシリーズ / 菅野卓雄 ほか監修 20
出版元 培風館
刊行年月 1999.7
ページ数 307p
大きさ 22cm
ISBN 456303620X
NCID BA4214337X
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全国書誌番号
99111163
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言語 日本語
出版国 日本
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