超薄膜SiヘテロエピタキシャルSOI構造の形成と薄膜トランジスタへの応用

研究代表者 中村哲郎

この本の情報

書名 超薄膜SiヘテロエピタキシャルSOI構造の形成と薄膜トランジスタへの応用
著作者等 中村 哲郎
書名ヨミ チョウハクマク Si ヘテロエピタキシャル SOI コウゾウ ノ ケイセイ ト ハクマク トランジスタ エノ オウヨウ
書名別名 平成元年度科学研究費補助金(一般研究B)研究成果報告書
シリーズ名 科学研究費補助金(一般研究(B))研究成果報告書
出版元 中村哲郎
刊行年月 1991.3
ページ数 51p
大きさ 26cm
NCID BA64069259
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言語 英語
出版国 日本
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