Materials issues in silicon integrated circuit processing : symposium held April 15-18, 1986, Palo Alto, California, U.S.A.

editors, Marc Wittmer, James Stimmell, Michael Strathman

この本の情報

書名 Materials issues in silicon integrated circuit processing : symposium held April 15-18, 1986, Palo Alto, California, U.S.A.
著作者等 Materials Research Society
Stimmell, James
Strathman, Michael
Symposium on "Materials Issues in Silicon Integrated Circuit Processing"
Wittmer, Marc
シリーズ名 Materials Research Society symposium proceedings
出版元 Materials Research Society
刊行年月 c1986
ページ数 xvii, 535 p.
大きさ 24 cm
ISBN 0931837375
NCID BA03515168
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言語 英語
出版国 アメリカ合衆国
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