Semiconductor-on-insulator and thin film transistor technology : symposium held December 3-6, 1985, Boston, Massachusetts, U.S.A.

editors, A. Chiang, M.W. Geis, L. Pfeiffer

The MRS Symposium Proceeding series is an internationally recognised reference suitable for researchers and practitioners. This book was first published in 2006.

「Nielsen BookData」より

[目次]

  • Preface
  • Acknowledgments
  • Part I. Zone Melting and Recrystallization
  • Part II. Heteroepitaxy and Porous Silicon
  • Part III. Buried Oxide and Nitride by Implantation
  • Part IV. Characterization of SOI Thin Films
  • Part V. Device and Circuit Applications
  • Author index
  • Subject index.

「Nielsen BookData」より

この本の情報

書名 Semiconductor-on-insulator and thin film transistor technology : symposium held December 3-6, 1985, Boston, Massachusetts, U.S.A.
著作者等 Chiang, A.
Geis, M. W.
Materials Research Society
Pfeiffer, L.
Symposium on "Semiconductor-on-Insulator and Thin Film Transistor Technology"
Pfeiffer Lee
シリーズ名 Materials Research Society symposium proceedings
出版元 Materials Research Society
刊行年月 c1986
ページ数 xvii, 474 p.
大きさ 24 cm
ISBN 0931837189
NCID BA03514992
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言語 英語
出版国 アメリカ合衆国
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