Impurity diffusion and gettering in silicon : symposium held November 27-30, 1984, Boston, Massachusetts, U.S.A.

editors, Richard B. Fair, Charles W. Pearce, Jack Washburn

The MRS Symposium Proceeding series is an internationally recognised reference suitable for researchers and practitioners.

「Nielsen BookData」より

この本の情報

書名 Impurity diffusion and gettering in silicon : symposium held November 27-30, 1984, Boston, Massachusetts, U.S.A.
著作者等 Fair, Richard B.
Materials Research Society
Materials Research Society. Meeting
Pearce, Charles W.
Symposium on Impurity Diffusion and Gettering in Semiconductors
Washburn, Jack
Pearce C. W.
Washburn J.
Fair R. B.
シリーズ名 Materials Research Society symposium proceedings
出版元 Materials Research Society
刊行年月 c1985
ページ数 xiii, 284 p.
大きさ 24 cm
ISBN 0931837014
NCID BA03262776
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言語 英語
出版国 アメリカ合衆国
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