Materials for microlithography : radiation-sensitive polymers

L.F. Thompson, editor, C.G. Willson, editor, J.M.J. Fréchet, editor ; based on a symposium cosponsored by the Division of Polymeric Materials, Science and Engineering and the Division of Polymer Chemistry, at the 187th Meeting of the American Chemical Society, St. Louis, Missouri, April 8-13, 1984

この本の情報

書名 Materials for microlithography : radiation-sensitive polymers
著作者等 American Chemical Society. Division of Polymer Chemistry
American Chemical Society. Division of Polymeric Materials : Science and Engineering
Fréchet, J. M. J.
Thompson, L. F.
Willson, C. G.
American Chemical Society
American Chemical Society. Meeting (187th : 1984 : St. Louis Mo.)
書名別名 Radiation-sensitive polymers
シリーズ名 ACS symposium series
出版元 The Society
刊行年月 1984
ページ数 viii, 494 p.
大きさ 24 cm
ISBN 0841208719
NCID BA03230678
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言語 英語
出版国 アメリカ合衆国
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