Laser processing of thin films and microstructures : oxidation, deposition and etching of insulators

Ian W. Boyd

この本の情報

書名 Laser processing of thin films and microstructures : oxidation, deposition and etching of insulators
著作者等 Boyd, Ian W.
Boyd Ian W
シリーズ名 Springer series in materials science
出版元 Springer-Verlag
刊行年月 c1987
ページ数 viii, 320 p.
大きさ 24 cm
ISBN 3540179518
0387179518
NCID BA01434688
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言語 英語
出版国 ドイツ
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