Lithography for VLSI

edited by Norman G. Einspruch, R.K. Watts

この本の情報

書名 Lithography for VLSI
著作者等 Einspruch, Norman G
Watts, R. K.
シリーズ名 VLSI electronics : microstructure science
出版元 Academic Press
刊行年月 1987
ページ数 xi, 361 p.
大きさ 24 cm
ISBN 0122341163
NCID BA01291241
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言語 英語
出版国 アメリカ合衆国
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