VLSI metallization

edited by Norman G. Einspruch, Simon S. Cohen, Gennady Sh. Gildenblat

この本の情報

書名 VLSI metallization
著作者等 Cohen, Simon S.
Einspruch, Norman G
Gildenblat, Gennady Sh.
シリーズ名 VLSI electronics : microstructure science
出版元 Academic Press
刊行年月 1987
ページ数 x, 480 p.
大きさ 24 cm
ISBN 0122341155
NCID BA01170156
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言語 英語
出版国 アメリカ合衆国
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