Science and technology of microfabrication : symposium held December 4-5, 1986, Boston, Massachusetts, U.S.A.

editors, R.E. Howard ... [et al.]

The MRS Symposium Proceeding series is an internationally recognised reference suitable for researchers and practitioners.

「Nielsen BookData」より

この本の情報

書名 Science and technology of microfabrication : symposium held December 4-5, 1986, Boston, Massachusetts, U.S.A.
著作者等 Howard, R. E.
Materials Research Society
Materials Research Society. Meeting
Symposium on the Science and Technology of Microfabrication
Hu E. L.
Namga S.
Pang S.
Howard R. E.
シリーズ名 Materials Research Society symposium proceedings
出版元 Materials Research Society
刊行年月 c1987
ページ数 xvii, 373 p.
大きさ 24 cm
ISBN 0931837421
NCID BA01149091
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言語 英語
出版国 アメリカ合衆国
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