Materials and process characterization

edited by Norman G. Einspruch, Graydon B. Larrabee

この本の情報

書名 Materials and process characterization
著作者等 Einspruch, Norman G
Larrabee, Graydon B.
シリーズ名 VLSI electronics : microstructure science
出版元 Academic Press
刊行年月 1983
ページ数 xii, 601 p.
大きさ 24 cm
ISBN 0122341066
NCID BA01084713
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言語 英語
出版国 アメリカ合衆国
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