クリーンルーム技術と材料

[目次]

  • 第1章 クリーンルーム(CR)の現状と展望
  • 第2章 構造材料
  • 第3章 設備機器
  • 第4章 清浄度測定評価(応用別)
  • 第5章 今後の動向

「BOOKデータベース」より

この本の情報

書名 クリーンルーム技術と材料
書名ヨミ クリ-ンル-ムギジユツトザイリヨウ
シリーズ名 新材料シリーズ
出版元 シーエムシー
ジスク
刊行年月 1990.12.26
ページ数 283p
大きさ 26cm(B5)
言語 日本語
出版国 日本
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