半導体結晶材料総合ハンドブック

[目次]

  • 第1編 半導体材料(元素半導体
  • 化合物半導体)
  • 第2編 半導体材料の製造技術(半導体シリコン結晶の製造技術
  • 化合物半導体結晶製造技術
  • シリコンエピタキシャル成長技術
  • 化学物半導体エピタキシャル成長技術
  • 非晶質半導体製造技術)
  • 第3編 周辺技術(高純度カーボン
  • 高純度炭化ケイ素
  • 半導体結晶用材料ガス)
  • 第4編 半導体材料の評価技術(基本(共通)技術
  • シリコン半導体プロセスの評価技術
  • 化合物半導体の評価技術
  • a‐Siの評価技術
  • 化合物半導体デバイス
  • 非晶質(アモルファス)半導体デバイス)

「BOOKデータベース」より

この本の情報

書名 半導体結晶材料総合ハンドブック
書名ヨミ ハンドウタイケツシヨウザイリヨウソウゴウハンドブツク
出版元 フジ・テクノシステム
刊行年月 1986.6.20
ページ数 673p
大きさ 30cm(A4)
言語 日本語
出版国 日本
この本を: 
このエントリーをはてなブックマークに追加

Yahoo!ブックマークに登録
この記事をクリップ!
Clip to Evernote
このページを印刷

外部サイトで検索

この本と繋がる本を検索

ウィキペディアから連想