RF MEMS技術の応用展開

大和田邦樹 監修

[目次]

  • 1 総論(MEMS技術の概要
  • RF MEMS技術の概要)
  • 2 プロセス技術(プロセス基盤技術
  • RF MEMSのプロセス技術 ほか)
  • 3 設計技術(MEMS構造体の力学的設計技術
  • MEMS構造体のRF設計技術)
  • 4 デバイス技術(単結晶シリコンメンブレン型スイッチ
  • 線路駆動型スイッチとメタルカンチレバー型スイッチ ほか)
  • 5 応用技術(60GHz帯送・受信フロントエンドモジュール
  • 高効率デュアルバンド増幅器 ほか)

「BOOKデータベース」より

この本の情報

書名 RF MEMS技術の応用展開
著作者等 大和田 邦樹
書名ヨミ RF MEMS ギジュツ ノ オウヨウ テンカイ
書名別名 RF MEMS技術の最前線
シリーズ名 新材料・新素材シリーズ 417
CMC TL 417
出版元 シーエムシー
刊行年月 2012.2
版表示 普及版.
ページ数 224p
大きさ 21cm
ISBN 978-4-7813-0496-0
NCID BB08295419
※クリックでCiNii Booksを表示
全国書誌番号
22144957
※クリックで国立国会図書館サーチを表示
言語 日本語
出版国 日本
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