ナノフォトニクスへの挑戦

大津元一 監修

[目次]

• 第1章 ナノフォトニクス事始め(ナノフォトニクスとは何か?
• 近接場光を使えばできる ほか)
• 第2章 微細計測、分析への挑戦(ナノ領域には何がある?
• ナノ領域を光らせる ほか)
• 第3章 極限加工への挑戦(近接場光リソグラフィへの道のり
• 近接場光リソグラフィを実用技術に-二層レジスト ほか)
• 第4章 高密度記録の限界への挑戦(高密度記録の必要性
• では、どうやって高記録密度を実現するか? ほか)
• 第5章 マイクロマシンの限界への挑戦(マイクロマシンの誕生
• 光技術とマイクロマシン ほか)

「BOOKデータベース」より