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| 書名 | 超微細加工技術 |
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| 著作者等 |
徳山 巍 応用物理学会 |
| 書名ヨミ | チョウビサイ カコウ ギジュツ |
| 書名別名 | Chobisai kako gijutsu |
| シリーズ名 |
応用物理学シリーズ 専門コース |
| 出版元 | オーム社 |
| 刊行年月 | 1997.2 |
| ページ数 | 309p |
| 大きさ | 22cm |
| ISBN |
427402332X |
| NCID |
BN15970232 ※クリックでCiNii Booksを表示 |
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全国書誌番号 |
97057913 ※クリックで国立国会図書館サーチを表示 |
| 言語 | 日本語 |
| 出版国 | 日本 |
