超微細加工技術
徳山巍 編著
各種技術を幅広く網羅!今後の応用・将来動向までを考察する。
「BOOKデータベース」より
[目次]
光リソグラフィ技術
電子線リソグラフィ技術
イオンビームリソグラフィ技術
X線リソグラフィ技術
レジスト材料
エッチング技術
形状シミュレーション技術
超微細加工技術の応用
「BOOKデータベース」より
書名
超微細加工技術
著作者等
徳山 巍
応用物理学会
書名ヨミ
チョウビサイ カコウ ギジュツ
シリーズ名
応用物理学シリーズ 専門コース
出版元
オーム社
刊行年月
1997.2
ページ数
309p
大きさ
22cm
ISBN
427402332X
NCID
BN15970232
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全国書誌番号
97057913
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言語
日本語
出版国
日本
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