超微細加工技術

徳山巍 編著

各種技術を幅広く網羅!今後の応用・将来動向までを考察する。

「BOOKデータベース」より

[目次]

  • 光リソグラフィ技術
  • 電子線リソグラフィ技術
  • イオンビームリソグラフィ技術
  • X線リソグラフィ技術
  • レジスト材料
  • エッチング技術
  • 形状シミュレーション技術
  • 超微細加工技術の応用

「BOOKデータベース」より

この本の情報

書名 超微細加工技術
著作者等 徳山 巍
応用物理学会
書名ヨミ チョウビサイ カコウ ギジュツ
書名別名 Chobisai kako gijutsu
シリーズ名 応用物理学シリーズ 専門コース
出版元 オーム社
刊行年月 1997.2
ページ数 309p
大きさ 22cm
ISBN 427402332X
NCID BN15970232
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全国書誌番号
97057913
※クリックで国立国会図書館サーチを表示
言語 日本語
出版国 日本
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