薄膜作成の基礎

麻蒔立男 著

今日、薄膜を作るには真空を用いることが常識となっている。本書ではまず薄膜を作るために必要な真空技術を前半で理解し、後半で薄膜を作るための技術-薄膜作成技術ともいうべき多数の技術について述べる。

「BOOKデータベース」より

[目次]

  • 第1章 薄膜技術
  • 第2章 真空の基礎
  • 第3章 真空ポンプと真空計測
  • 第4章 真空装置の実際
  • 第5章 薄膜の基礎
  • 第6章 薄膜作成法
  • 第7章 蒸着法
  • 第8章 スパッタ
  • 第9章 熱酸化窒化と気相成長CVD
  • 第10章 エッチング
  • 第11章 平坦化技術

「BOOKデータベース」より

この本の情報

書名 薄膜作成の基礎
著作者等 麻蒔 立男
書名ヨミ ハクマク サクセイ ノ キソ
出版元 日刊工業新聞社
刊行年月 1996.3
版表示 第3版.
ページ数 357, 4p
大きさ 22cm
ISBN 4526038318
NCID BN07499280
BN14295768
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全国書誌番号
96050642
※クリックで国立国会図書館サーチを表示
言語 日本語
出版国 日本
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