赤外反射分光法による半導体結晶表面の原子制御計測の開発

庭野道夫研究代表者

この本の情報

書名 赤外反射分光法による半導体結晶表面の原子制御計測の開発
著作者等 庭野 道夫
書名ヨミ セキガイ ハンシャ ブンコウホウ ニ ヨル ハンドウタイ ケッショウ ヒョウメン ノ ゲンシ セイギョ ケイソク ノ カイハツ
書名別名 平成7年度科学研究費補助金試験研究(B)(2)研究成果報告書 : (課題番号05555109)
シリーズ名 科学研究費補助金(試験研究B(2))研究成果報告書
出版元 [庭野道夫]
刊行年月 1996.3
ページ数 1冊
大きさ 30cm
NCID BB11700763
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言語 英語
日本語
出版国 日本
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