マルチプルームPLD法による新機能薄膜の組成制御技術に関する基礎研究調査

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書名 マルチプルームPLD法による新機能薄膜の組成制御技術に関する基礎研究調査
著作者等 新エネルギー産業技術総合開発機構
書名ヨミ マルチ プルーム ピーエルディーホウ ニ ヨル シンキノウ ハクマク ノ ソセイ セイギョ ギジュツ ニ カンスル キソ ケンキュウ チョウサ
書名別名 Maruchi purumu pierudiho ni yoru shinkino hakumaku no sosei seigyo gijutsu ni kansuru kiso kenkyu chosa
シリーズ名 NEDO-ITK 9312
調査報告書 9312
出版元 新エネルギー・産業技術総合開発機構
刊行年月 1994.3
ページ数 127, 20p
大きさ 30cm
全国書誌番号
96038431
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言語 日本語
出版国 日本
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