Proceedings : the Third International Symposium on Sputtering & Plasma Processes, ISSP '95 et al.

sponsored by the Study Committee of Sputtering & Plasma Processes, Japan Technology Transfer Association ; with the cooperation of the Japan Society of Applied Physics .

この本の情報

書名 Proceedings : the Third International Symposium on Sputtering & Plasma Processes, ISSP '95 et al.
著作者等 withthecooperationoftheJapanSocietyofAppliedPhysics.
theStudyCommitteeofSputtering&PlasmaProcessesJapanTechnologyTransferAssociation
出版元 The Committee
刊行年月 1995
ページ数 vi, 442 p. : ill.
大きさ 30 cm
全国書誌番号
96033673
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言語 英語
出版国 日本
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