ウルトラクリーンULSI技術

大見忠弘 著

本書は、幾多の研究実験施設やプロセス工場の設計に携わってきた著者が、クリーン技術に関するあらゆる問題と処理法について、そのノウハウと理論的側面を解説し、併せてその技術によって可能となる新デバイスにまで言及した大変示唆に富む解説書。

「BOOKデータベース」より

[目次]

  • 4端子デバイスエレクトロニクス
  • 高精度トータル低温化プロセス
  • 表面・界面のウルトラクリーン化技術
  • クリーン表面とガス分子の相互作用

「BOOKデータベース」より

この本の情報

書名 ウルトラクリーンULSI技術
著作者等 大見 忠弘
書名ヨミ ウルトラ クリーン ユーエルエスアイ ギジュツ
書名別名 Urutora kurin yueruesuai gijutsu
シリーズ名 エレクトロニクス材料・物性・デバイス 15
アドバンストエレクトロニクスシリーズ 15
出版元 培風館
刊行年月 1995.12
ページ数 366p
大きさ 22cm
ISBN 4563036153
NCID BN13643698
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全国書誌番号
96031156
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言語 日本語
出版国 日本
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