 |
|
 |
|
| 書名 | ALD ... : AVS ... International Conference on ALD |
|---|---|
| 著作者等 |
American Vacuum Society. Thin Film Division International Conference on Atomic Layer Deposition |
| 書名別名 | International Conference on Atomic Layer Deposition [proceedings] |
| 出版元 | American Vacuum Society |
| ページ数 | CD-ROM |
| 大きさ | 12 cm |
| NCID |
AA12182851 ※クリックでCiNii Booksを表示 |
| 言語 | 英語 |
| 出版国 | アメリカ合衆国 |
