Journal of vacuum science & technology. Second series. B, Microelectronics and nanometer structures, processing, measurement and phenomena  Vol. 9, no. 1 (Jan./Feb. 1991)-

この本の情報

書名 Journal of vacuum science & technology. Second series. B, Microelectronics and nanometer structures, processing, measurement and phenomena
書名別名 JVSTB, Nanotechnology & microelectronics

Journal of vacuum science and technology. B, 2nd series. Nanotechnology & microelectronics: mateials, processing, mesurement, & phenomena
巻冊次 Vol. 9, no. 1 (Jan./Feb. 1991)-
出版元 American Institute of Physics
刊行年月 1991-
ページ数 v.
大きさ 29 cm
ISSN 21662746
NCID AA10804928
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言語 英語
出版国 アメリカ合衆国
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