Journal of vacuum science & technology. 2nd series B, Microelectronics processing and phenomena : an official journal of the American Vacuum Society  Vol. 1, no. 1 (Jan./Mar. 1983)-v. 8, no. 6 (Nov./Dec. 1990)

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書名 Journal of vacuum science & technology. 2nd series B, Microelectronics processing and phenomena : an official journal of the American Vacuum Society
書名別名 Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics processing and phenomena

Journal of vacuum science and technology. B, Microelectronics processing and phenomena

Microelectronics processing and phenomena

J. vac. sci. technol., B, Microelectronics process. phenom
巻冊次 Vol. 1, no. 1 (Jan./Mar. 1983)-v. 8, no. 6 (Nov./Dec. 1990)
出版元 American Institute of Physics
刊行年月 1983-1990
ページ数 8 v.
大きさ 29 cm
ISSN 0734211X
NCID AA10635106
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言語 英語
出版国 アメリカ合衆国
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