分子線エピタキシー

権田俊一 編著

分子線エピタキシーは、超精密制御が可能な結晶成長技術として、先端デバイスの研究開発に大きな展開をもたらしている。本書は、その基礎的事項から電子・光・量子効果等各種デバイスへの応用までの最新の成果を盛り込んで詳述した、総合的な解説書である。

「BOOKデータベース」より

[目次]

  • 1 分子線エピタキシー概論
  • 2 固体ソースMBE-装置と成長過程
  • 3 ガスソースMBE-装置と成長過程
  • 4 MBEにおけるその場計測
  • 5 Si系MBE
  • 6 3‐5族化合物半導体のMBE
  • 7 2‐6族化合物半導体のMBE
  • 8 金属・半金属・磁性体のMBE
  • 9 電子デバイスへの応用-高電子移動度トランジスタ
  • 10 光デバイスへの応用
  • 11 量子デバイスへの応用

「BOOKデータベース」より

この本の情報

書名 分子線エピタキシー
著作者等 権田 俊一
書名ヨミ ブンシセン エピタキシー
書名別名 Bunshisen epitakishi
シリーズ名 エレクトロニクス材料・物性・デバイス 10
アドバンストエレクトロニクスシリーズ 10
出版元 培風館
刊行年月 1994.11
ページ数 349p
大きさ 22cm
ISBN 4563036102
NCID BN11608517
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全国書誌番号
95017230
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言語 日本語
出版国 日本
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