光熱変位計測の高感度化と材料評価への応用に関する研究

[目次]

  • 目次
  • 第1章 序論 / p1
  • 1-1 研究の背景 / p1
  • 1-2 光音響法の特徴 / p3
  • 1-3 光音響信号検出方法 / p4
  • 1-4 本研究の目的と論文の構成 / p7
  • 第2章 レーザプローブによる微小振動検出技術に関する研究 / p10
  • 2-1 各種レーザプローブの特徴 / p10
  • 2-2 レーザヘテロダイン法におけるノイズ要因の分析と高感度化 / p20
  • 2-3 まとめ / p26
  • 第3章 光熱変位計測装置の開発 / p27
  • 3-1 レーザヘテロダイン法による測定量 / p27
  • 3-2 光熱変位計測装置 / p34
  • 3-3 装置性能および測定例 / p38
  • 3-4 シリコンウエハ結晶欠陥評価装置 / p44
  • 3-5 まとめ / p46
  • 第4章 熱弾性理論による光熱変位の解析法に関する研究 / p47
  • 4-1 解析対象および仮定 / p47
  • 4-2 温度分布 / p49
  • 4-3 光熱変位 / p53
  • 4-4 1次元モデルへの変換 / p56
  • 4-5 解の収束 / p58
  • 4-6 数値計算例 / p61
  • 4-7 まとめ / p65
  • 第5章 薄膜材料の評価への応用 / p67
  • 5-1 膜厚依存性 / p67
  • 5-2 表面皮下の構造評価 / p73
  • 5-3 まとめ / p74
  • 第6章 半導体結晶欠陥評価への応用 / p76
  • 6-1 イオン注入ダメージの評価 / p76
  • 6-2 アニーリングによる結晶性回復度の評価 / p88
  • 6-3 エッチングダメージの評価 / p91
  • 6-4 まとめ / p94
  • 第7章 結論 / p95
  • 謝辞 / p98
  • 参考文献 / p99
  • 研究業績目録 / p102

「国立国会図書館デジタルコレクション」より

この本の情報

書名 光熱変位計測の高感度化と材料評価への応用に関する研究
著作者等 高松 弘行
書名ヨミ コウネツ ヘンイ ケイソク ノ コウカンドカ ト ザイリョウ ヒョウカ エ ノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
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