イオンビーム法で作成したダイヤモンド状炭素膜の研究

[目次]

  • 目次
  • 第1章 はじめに / p1
  • 1.1 ダイヤモンド状炭素膜研究の歴史 / p1
  • 1.2 ダイヤモンド状炭素膜の応用展開 / p3
  • 1.3 本研究の位置づけ / p6
  • 第2章 成膜装置 / p9
  • 2.1 序 / p9
  • 2.2 カウフマン型イオン源 / p10
  • 2.3 ホール型イオン源 / p14
  • 2.4 まとめ / p35
  • 第3章 膜の構造と物性 / p37
  • 3.1 序 / p37
  • 3.2 評価・解析装置 / p37
  • 3.3 構造 / p39
  • 3.4 物性 / p65
  • 3.5 まとめ / p73
  • 4章 膜の付着性と界面 / p82
  • 4.1 序 / p82
  • 4.2 各種材料に対する膜付着力 / p82
  • 4.3 イオン注入による膜付着力強化 / p90
  • 4.4 界面での炭化物生成 / p94
  • 4.5 幅広いエネルギー分布を持つイオンによる成膜 / p107
  • 4.6 アンカー効果 / p111
  • 4.7 まとめ / p114
  • 5章 本技術の適用例 / p116
  • 5.1 序 / p116
  • 5.2 伸線ダイスへの適用 / p116
  • 5.3 打ち抜き金型への適用 / p119
  • 5.4 自動車摺動部品への検討 / p122
  • 5.5 まとめ / p127
  • 6章 まとめ / p129
  • 6.1 本研究のまとめ / p129
  • 6.2 今後の課題 / p130
  • 謝辞 / p133
  • 論文一覧表 / p134
  • 学会口頭発表 / p135

「国立国会図書館デジタルコレクション」より

この本の情報

書名 イオンビーム法で作成したダイヤモンド状炭素膜の研究
著作者等 岡田 守弘
書名ヨミ イオン ビームホウ デ サクセイ シタ ダイヤモンドジョウ タンソマク ノ ケンキュウ
この本を: 
このエントリーをはてなブックマークに追加

このページを印刷

外部サイトで検索

この本と繋がる本を検索

ウィキペディアから連想