パラレル駆動機構による精密位置決めとその応用に関する研究

[目次]

  • 目次 / p1
  • 第1章 序論 / p1
  • 1.1 本研究の経緯 / p1
  • 1.2 従来の研究 / p4
  • 1.3 本研究の目的と各章の概要 / p18
  • 第2章 位置制御素子を用いたパラレル微動機構の非干渉化設計 / p23
  • 2.1 緒言 / p23
  • 2.2 基本モデルの解析と構造設計 / p23
  • 2.3 試作ステージの構造と実験システムの構成 / p35
  • 2.4 駆動特性の評価 / p37
  • 2.5 結言 / p38
  • 第3章 静的非干渉化手法によるパラレル微動機構の6自由度制御 / p41
  • 3.1 緒言 / p41
  • 3.2 静的非干渉化制御方式 / p41
  • 3.3 並列演算処理による制御アルゴリズムの実現 / p47
  • 3.4 ステージ駆動特性の評価と考察 / p49
  • 3.5 結言 / p54
  • 第4章 サーフェイスモータを用いた力制御型パラレル駆動機構の基本原理 / p57
  • 4.1 緒言 / p57
  • 4.2 サーフェイスモータ駆動機構の基本原理とシステム構成 / p58
  • 4.3 サーフェイスモータの推力解析と試作ステージの特性 / p64
  • 4.4 閉ループ制御系の設計と駆動特性の解析 / p69
  • 4.5 試作ステージの駆動実験と特性評価 / p73
  • 4.6 結言 / p78
  • 第5章 サーフェイスモータ駆動機構の長ストローク化と非干渉化制御 / p79
  • 5.1 緒言 / p79
  • 5.2 駆動機構の構成とSFM推力特性 / p79
  • 5.3 閉ループ制御系の非干渉化とシステム構成 / p84
  • 5.4 実験とその評価 / p90
  • 5.6 結言 / p94
  • 第6章 圧電素子微動機構を備えたサーフェイスモータ駆動機構の6自由度制御 / p97
  • 6.1 緒言 / p97
  • 6.2 6自由度運動を考慮したサーフェイスモータ駆動機構の動力学モデルと安定条件 / p98
  • 6.3 6自由度運動制御系の原理とステージ構成 / p103
  • 6.4 6自由度運動制御系の設計 / p108
  • 6.5 実験結果と性能評価 / p115
  • 6.6 結言 / p125
  • 第7章 パラレル駆動機構の精密機器への応用I(SRステッパヘの応用) / p127
  • 7.1 緒言 / p127
  • 7.2 SRステッパーの概要 / p128
  • 7.3 精度分配による基本設計(エラーバジェット) / p130
  • 7.4 SRステッパーのシステム構成と各要素機器の構成 / p135
  • 7.5 実験結果 / p144
  • 7.6 実験結果の考察とフォーカス補正方式 / p152
  • 7.7 結言 / p155
  • 第8章 パラレル駆動機構の精密機器への応用II(レーザー加工システムへの応用) / p157
  • 8.1 緒言 / p157
  • 8.2 トレパニングシステムの開発 / p158
  • 8.3 高速XYステージの設計 / p172
  • 8.4 結言 / p184
  • 第9章 結論 / p185
  • 謝辞 / p189
  • あとがき / p191
  • 参考文献 / p195
  • 関連論文発表リスト / p207
  • 関連特許リスト / p211
  • 図表リスト / p213

「国立国会図書館デジタルコレクション」より

この本の情報

書名 パラレル駆動機構による精密位置決めとその応用に関する研究
著作者等 冨田 良幸
書名ヨミ パラレル クドウ キコウ ニ ヨル セイミツ イチギメ ト ソノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
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