平行平板型高周波放電プラズマ装置の特性と硬質炭素膜の形成過程に関する研究

立田利明[著]

[目次]

  • Abstract
  • 目次 / p2
  • 第1章 序論 / p5
  • 1.1 本研究の背景と目的 / p5
  • 1.2 本論文の構成 / p8
  • 参考文献 / p11
  • 第2章 高周波プラズマとその計測 / p12
  • 2.1 はじめに / p12
  • 2.2 高周波放電とその構造 / p12
  • 2.3 電気プローブによるプラズマパラメーターの計測法 / p26
  • 参考文献 / p37
  • 第3章 CH₄プラズマの放電構造 / p38
  • 3.1 はじめに / p38
  • 3.2 プラズマパラメーターと発光特性 / p38
  • 3.3 シングルプローブヘの高周波振動の影響 / p54
  • 3.4 まとめ / p61
  • 参考文献 / p63
  • 第4章 イオンエネルギー分析 / p64
  • 4.1 はじめに / p64
  • 4.2 反発型エネルギー分析器の試作 / p65
  • 4.3 接地電極上のイオンエネルギー分布測定 / p74
  • 4.4 RF電極上のイオンエネルギー分布測定 / p76
  • 4.5 Arの添加効果 / p81
  • 4.6 電極に入射するイオン種の相対量 / p85
  • 4.7 まとめ / p89
  • 参考文献 / p91
  • 第5章 成膜及び膜特性とパラメーターとの関係 / p92
  • 5.1 はじめに / p92
  • 5.2 成膜 / p92
  • 5.3 膜特性とパラメーターとの関係 / p93
  • 5.4 まとめ / p102
  • 参考文献 / p104
  • 第6章 プラズマに対する微粒子の影響 / p105
  • 6.1 はじめに / p105
  • 6.2 プローブ計測 / p106
  • 6.3 ミー散乱計測 / p112
  • 6.4 考察 / p119
  • 6.5 まとめ / p120
  • 参考文献 / p122
  • 第7章 結論 / p123
  • 謝辞 / p126

「国立国会図書館デジタルコレクション」より

この本の情報

書名 平行平板型高周波放電プラズマ装置の特性と硬質炭素膜の形成過程に関する研究
著作者等 立田 利明
書名ヨミ ヘイコウ ヘイバンガタ コウシュウハ ホウデン プラズマ ソウチ ノ トクセイ ト コウシツ タンソマク ノ ケイセイ カテイ ニ カンスル ケンキュウ
出版元 [立田利明]
刊行年月 1994
ページ数 125p
大きさ 31cm
NCID BA37120692
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言語 日本語
出版国 日本
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